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VERITAS鎢燈絲掃描電鏡系列

發(fā)布時(shí)間:2020/04/08
VERITAS鎢燈絲掃描電鏡系列

VERITAS系列掃描電鏡秉承EM科特電子顯微技術(shù)高分辨高效率的性能,內置CCD攝像機和導航功能可幫助用戶(hù)輕松地找到理想區域。

 

VERITAS系列掃描電鏡擁有大樣品倉室,內含5軸多功能電動(dòng)樣品臺,可輕松測量大尺寸的樣品。并且VERITAS系列的樣品倉可同時(shí)安裝了多個(gè)樣本,減少樣品來(lái)回放置時(shí)因抽真空所使用的時(shí)間,從而達到快速分析測樣的目的,有效地提高檢測速度。

     

EM科特VERITAS系列產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn):


l大尺寸樣品分析  VERITAS系列可以分析常規SEM無(wú)法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓、磁盤(pán)


l無(wú)損樣品分析   無(wú)需切割即可分析樣品。例如PCB、半導體圖案分析


l較重樣品分析   能夠分析重達2kg的樣品。例如巖石、鐵礦石 


l快速樣品分析   同時(shí)進(jìn)行多個(gè)樣品的分析,大大提高工作效率,節約成本

 



技術(shù)指標:

分辨率

2nm

放大倍數

x10-x300000

電子槍

LaB6/CeB6

探測器

二次電子探測器、背散射探測器

真空系統

全自動(dòng)真空系統(<90s)
渦輪分子泵
旋轉葉片泵
電動(dòng)閥系統

顯示模式

聚焦模式 預覽模式
慢掃模式 成像模式

自動(dòng)功能

聚焦
亮度/對比度
物鏡光闌搖擺對重
電子槍對重、偏壓、飽和